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發表時間:2019-06-10 16:51:39 作者:雕刻機

北京pk10开奖记录不久前,一臺價值1.06億元的設備經空運從荷蘭飛抵廈門,由于該設備價值高,而且對保存和運輸有著很高的要求——必須保持在23℃恒溫狀態下。為了避免影響設備的精度,在運輸中也對穩定性有極高的要求。因此,機場海關以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監管,待貨物裝入特制溫控氣墊車,移至海關的機坪視頻監控探頭之下,完成緊急查驗后當晚就得到放行。

北京pk10开奖记录那么到底是什么設備能獲得機場海關如此嚴陣以待,而且能有單臺破億的價格呢?

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什么是光刻機?

北京pk10开奖记录光刻機是芯片制造的核心設備之一,按照用途可以分為好幾種:有用于生產芯片的光刻機;有用于封裝的光刻機;還有用于LED制造領域的投影光刻機。用于生產芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板,國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口,本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生產的設備。

在高端光刻機上,除了龍頭老大ASML,尼康和佳能也曾做過光刻機,而且尼康還曾經得到過Intel的訂單。但是近些年,尼康在ASML面前被打的毫無還手之力,高端光刻機市場基本被ASML占據——即便是尼康最新的Ar-F immersion 630賣價還不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售價的一半,也無法挽回敗局。

北京pk10开奖记录原因何在?一方面是Intel新CEO上臺后,不再延續與尼康的620D合同,這使得尼康失去了一個大客戶。另一方面,也和尼康自身技術實力不足有關,尼康的光刻機相對于ASML有不少瑕疵,在操作系統上設計的架構有缺陷,而且尼康的光刻機的實際性能和尼康官方宣傳的有不小差距,這使得臺積電、Intel、三星、格羅方德等晶圓大廠不可能為了省一點錢去賣有瑕疵的產品。

目前,尼康的高端光刻機基本被ASML吊打,主流半導體產線中只有少數低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能,其他基本都是ASML的天下。某種程度上,尼康的光刻機也只能用賣的超級便宜來搶市場了。那么,賣的到底有多便宜呢?

用數據來說話,ASML的 EUV NXE 3350B 單價超過1億美元,ArF Immersion售價大約在7000萬美元左右。相比之下,尼康光刻機的單價只相當于ASML價格的三分之一。

光刻機工作原理

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北京pk10开奖记录上圖是一張ASML光刻機介紹圖。下面,簡單介紹一下圖中各設備的作用。

測量臺、曝光臺:是承載硅片的工作臺。

激光器:也就是光源,光刻機核心設備之一。

北京pk10开奖记录光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。

能量控制器:控制最終照射到硅片上的能量,曝光不足或過足都會嚴重影響成像質量。

光束形狀設置:設置光束為圓型、環型等不同形狀,不同的光束狀態有不同的光學特性。

遮光器:在不需要曝光的時候,阻止光束照射到硅片。

能量探測器:檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進行調整。

掩模版:一塊在內部刻著線路設計圖的玻璃板,貴的要數十萬美元。

北京pk10开奖记录掩膜臺:承載掩模版運動的設備,運動控制精度是nm級的。

物鏡:物鏡用來補償光學誤差,并將線路圖等比例縮小。

硅片:用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸,尺寸越大,產率越高。題外話,由于硅片是圓的,所以需要在硅片上剪一個缺口來確認硅片的坐標系,根據缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、 ? ? ?notch。

內部封閉框架、減振器:將工作臺與外部環境隔離,保持水平,減少外界振動干擾,并維持穩定的溫度、壓力。

在加工芯片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續涂膠、曝光。越復雜的芯片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控制過程。

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